BARC1 tested in this experiment is

BARC1 tested in this experiment is also an acrylate polymer. Figure 2 shows the etch rate of BARC1 and its etch selectivity to the resist. The etch rate of BARC1 in Figure 2a followed the same trend as the resist did because they are same type of polymer. The more O2 in the etch recipe, the faster the etch rate. The selectivity of BARC1 to the resist in Figure 2b is not very high; in this case, the highest selectivity is only 1.15.

結果 (繁體中文) 1:

BARC1在本實驗中測試也是丙烯酸酯聚合物。圖2示出BARC1的蝕刻速率和它的蝕刻選擇性抗蝕劑。BARC1的蝕刻速率在圖2a中遵循相同的趨勢作為抗蝕劑那樣，因為它們是相同類型的聚合物。中蝕刻配方更O2，更快的刻蝕速率。BARC1到的選擇性在圖2b中的抗蝕劑不是很高; 在這種情況下，最高的選擇性僅為1.15。

結果 (繁體中文) 2:

本實驗中測試的BARC1也是丙烯酸酯聚合物。圖2顯示了BARC1的蝕刻速率及其對電阻的蝕刻選擇性。圖2a中BARC1的蝕刻速率與電阻相同的趨勢相同，因為它們是同一類型的聚合物。蝕刻配方中的 O2 越多，蝕刻速率越快。圖2b中BARC1對電阻的選擇性不是很高;在這種情況下，最高的選擇性僅為 1.15。

結果 (繁體中文) 3:

在本實驗中測試的BARC1也是一種丙烯酸酯聚合物。圖2顯示了BARC1的蝕刻速率及其對抗蝕劑的蝕刻選擇性。圖2a中BARC1的蝕刻速率與抗蝕劑的趨勢相同，因為它們是同一類型的聚合物。蝕刻配方中的氧氣越多，蝕刻速度越快。圖2b中BARC1對抗蝕劑的選擇性不是很高；在這種情況下，最高的選擇性只有1.15。