For this paper, we studied several

For this paper, we studied several types of polymers and their responses to different etch gases. A polymer decomposition mechanism for the plasma etch process has been developed which clearly connects the polymer structure and the etch results. Based on this theory, we modified the Ohnishi parameter as well.

結果 (繁體中文) 1:

在本文中，我們研究了幾種類型的聚合物和它們不同的蝕刻氣體反應。用於等離子體蝕刻工藝的聚合物分解機制已經開發了清楚地連接在聚合物結構和刻蝕的結果。基於這一理論，我們修改了大西參數也是如此。

結果 (繁體中文) 2:

在本文中，我們研究了幾種聚合物類型及其對不同蝕刻氣體的反應。等離子體蝕刻工藝的聚合物分解機制已經開發出來，將聚合物結構和蝕刻結果清楚地連接起來。基於這一理論，我們修改了奧尼西參數。

結果 (繁體中文) 3:

本文研究了幾種聚合物及其對不同腐蝕氣體的響應。研究了电浆刻蝕過程中聚合物的分解機理，明確了聚合物結構與刻蝕結果的關係。基於這一理論，我們還對Ohnishi參數進行了修正。