Самый основной недостаток зонда Langmuir для диагностики обрабатывающей плазмы заключается в том, что зонд состоит из объекта, вставленного в плазму, тем самым возмущая плазму, чьи невозмутимые свойства представляют интерес. Зонды обычно предназначены для минимизации этих возмущений и эффекты были количественно и документально в некоторых случаях . Трубка или держатель, поддерживающий наконечник зонда, обеспечивает потерю поверхности электронов и ионов, тем самым угнетая близлежащую плотность заряда. Делая диаметр держателя небольшим, как правило, несколько миллиметров сводит к минимуму этот эффект. Если материалы в распылении держателя зонда или реагируют химически с плазмой, то сильные perturbations можно предпологать и по возможности неприемлемое загрязнение камеры реактора могут привести к. Отбор материалов и диаметр зонда ограничиваются требованием достаточной механической жесткости и необходимостью выживания при повышенных температурах в возможно агрессивной химической среде. Держатель зонда часто сделан электрически изоляционным (стеклянным или керамическим) для уменьшения возмущения электрических полей в плазме, и провод кончика может быть сделан из металлов, таких как платина, вольфрам, или никель-хромовый сплав. Если наконечник зонда проводит слишком много тока, ток может повлиять на плазму, вызывая дополнительную ионизацию или изменяя потенциалы. Естественно, этот эффект уменьшается по мере уменьшения размера наконечника. Однако, если наконечник слишком мал, то геометрия наконечника становится все труднее поддается лечению с помощью теории зонда и эффект держателя становится относительно более значительным. Когда наконечник зонда предвзято отрицательно по отношению к плазме, он подвергается ионной бомбардировке. Это нормальный режим работы, и ионная бомбардировка может быть полезной, сохраняя поверхность зонда чистой в плазме, которая откладывает пленки на поверхностях. Однако чрезмерная ионная бомбардировка может привести к перегреву зонда или эрозии путем распыления наконечника зонда.
正在翻譯中..