ในการศึกษานี้, เราตรวจสอบกิจกรรมเร่งปฏิกิริยาของโลหะที่มีเกียรติ, Ag, Au, Pt, และ Rh, สำหรับโลหะช่วยแกะสลักของ Si ใช้ออกซิเจนละลายเป็นตัวแทนออกซิไดซ์. กิจกรรมการเร่งปฏิกิริยาของโลหะที่สูงส่งสำหรับการลดออกซิเจน cathodic ในโซลูชัน HF เพิ่มขึ้นในลำดับของ Ag, Au, Pt และ Rh กิจกรรมควบคุมปฏิกิริยา cathodic ท้องถิ่นของการแกะสลัก HF ของ Si ภายใต้สภาวะที่มืด ดังนั้นอัตราการกัดของศรีจะถูกกำหนดโดยความเข้มข้นของออกซิเจนที่ละลายในชนิดของโลหะและความครอบคลุมโลหะของพื้นผิว Si
正在翻譯中..
