The Ohnishi parameter, the most pop

The Ohnishi parameter, the most popular model, states that etch rate is proportional to the effective carbon content in the polymer as a function of NT/(NC-NO), where NT is the total number of atoms, NC is the number of carbon atoms, and NO is the number of oxygen atoms. The Ohnishi parameter generally describes the basic trend of polymer etching, and most polymers follow the trend well. Later researchers did many modifications based on the Ohnishi model and tried to make the equation more accurate, for example, by combining the carbon and oxygen content with the ring parameter [6] and by introducing the number of fluorine atoms, NF, in the Ohnishi equation for the polymers containing fluorine [7, 8, 9].These modifications fit experimental data better mathematically, but they all lack an explanation of physical meaning.

結果 (繁體中文) 1:

的大西參數，最流行的模型，指出蝕刻速率正比於聚合物中的有效碳含量為NT /（NC-NO），其中NT是原子的總數量的函數，NC是碳的數目原子，NO是氧原子的數目。的大西參數通常描述聚合物蝕刻的基本趨勢，和大多數聚合物跟隨趨勢良好。後來的研究者沒有基於所述大西模型和試圖使方程更準確的，例如許多修改，通過結合碳和氧含量與環參數[6]，並通過引入氟原子，NF的數量，在大西方程含氟聚合物[7，8，9]。這些修改適合實驗數據更好數學，但它們都缺少的物理意義的解釋。

結果 (繁體中文) 2:

Onishi 參數是最受歡迎的模型，指出蝕刻速率與聚合物中的有效碳含量成正比，作為 NT/（NC-NO）的函數，其中 NT 是原子的總數，NC 是碳原子的數量，NO 是氧原子的數量。Ohnishi 參數通常描述聚合物蝕刻的基本趨勢，大多數聚合物都很好地遵循了這一趨勢。後來，研究人員根據Ohnishi模型進行了許多修改，並試圖使方程更加精確，例如，將碳和氧含量與環參數[6]相結合，並在含氟的聚合物的Ohnishi方程中引入氟原子（NF）的數量[7，8，9]。這些修改在數學上更適合實驗資料，但它們都缺乏對物理意義的解釋。

結果 (繁體中文) 3:

最流行的模型Ohnishi參數指出，刻蝕速率與聚合物中的有效碳含量成正比，是NT/（NC-NO）的函數，其中NT是原子總數，NC是碳原子數，NO是氧原子數。Ohnishi參數一般描述了聚合物刻蝕的基本趨勢，大多數聚合物都很好地遵循這一趨勢。後來，研究人員在Ohnishi模型的基礎上做了許多修改，試圖使方程更加精確，例如，將碳和氧含量與環參數[6]結合起來，並在Ohnishi方程中引入氟原子數NF，用於含氟聚合物[7,8，9]這些修改在數學上更符合實驗數據，但它們都缺乏對物理意義的解釋。