OHT Taxi mode Meanwhile, to utilize

OHT Taxi mode Meanwhile, to utilize the tool library, different reticles needed to be transferred to the tools in sequence. For a two-reticle scenario, when the first reticle is on stage for inspection, the empty pod should be removed from the load port since the second pod with the second reticle will be transferred to the tool in advance. However, this scenario introduced an unforeseen RFID writing issue. Because both pod information and reticle information are linked together on the RTD system for dispatch handling, all the information should be accurate and correct. Thus, the RFID, which contains reticle ID information on the pod, needs to be cleared before it leaves the tool. However, the reticle inspection tool did not support changing the RFID on the pod. Thus, a feature called RFID-write was developed for the EAP system to change the RFID on the pod. With this feature, the original pod would be released (clear the RFID info, like Pod A in Figure 7) when being taken away from tool, while the new pod would be combined with the reticle (write reticle ID into RFID, like the pod B in Figure 7) when the pod carries a new reticle. So, the pod essentially acts like a taxi to carry different reticles, transferring them between the stocker and inspection tools. With this taxi mode, pod utilization has been highly improved and the library usage scenario during FA has not encountered any more issues affecting the RTD system.

結果 (繁體中文) 1:

OHT出租車模式。同時，利用該工具庫，需要不同的標線將依次傳遞到工具。對於兩光罩的情況下，當第一掩模版是在舞台上進行檢查，空盒應當從裝載口去除，因為與所述第二掩模版的第二莢將預先被轉移到該工具。然而，此方案引入不可預見的RFID寫作問題。因為這兩個吊艙信息和分劃板信息的RTD系統調度處理上連在一起，所有的信息應準確無誤。因此，RFID，它包含在吊艙光罩ID信息，需要離開的工具之前被清除。然而，光罩檢驗工具不支持改變的吊艙的RFID。
因此，所謂的RFID讀寫功能的EAP系統改變對吊艙RFID開發。有了這個功能，原來的吊艙將被釋放（清除RFID信息，像豆莢圖7）取自工具離開時，而新的吊艙將與標線（寫入光罩ID為RFID相結合，像豆莢乙圖7），當吊艙攜帶新掩模版。所以，本質上莢就像一個出租車攜帶不同的標線，堆放和檢查工具之間相互轉移。有了這個出租車模式，莢使用率已經大大提高，並在FA庫使用方案沒有遇到任何影響RTD系統更多的問題。

結果 (繁體中文) 2:

OHT 計程車模式 同時，要利用工具庫，需要按順序將不同的子道轉移到工具上。對於雙網圖方案，當第一個視線處於檢查階段時，應從負載埠上卸下空吊艙，因為帶有第二個視道的第二個吊艙將提前轉移到工具。但是，此方案引入了一個不可預見的 RFID 寫入問題。由於 Pod 資訊和 reticle 資訊在 RTD 系統上連結在一起以進行調度處理，因此所有資訊都應準確且正確。因此，在 Pod 上包含 reticle ID 資訊的 RFID 在離開工具之前需要清除。但是，神經質偵查工具不支援更改吊艙上的 RFID。
因此，為 EAP 系統開發了一個稱為 RFID 寫入的功能，用於更改吊艙上的 RFID。使用此功能，當從工具中取走時，將釋放原始 pod（清除 RFID 資訊，如圖 7 中的 Pod A），而當吊艙攜帶新的資訊箱時，新吊艙將與 reticle（將 reticle ID 寫入 RFID，如圖 7 中的 Pod B）結合使用樂。因此，吊艙基本上就像一輛計程車，攜帶不同的視網膜，在庫存器和檢查工具之間轉移它們。使用此計程車模式，pod 利用率已得到大幅提升，FA 期間的庫使用方案不再遇到影響 RTD 系統的問題。

結果 (繁體中文) 3:

同時，為了利用刀具庫，需要將不同的十字線按順序轉移到刀具上。對於雙十字線方案，當第一個十字線在檢查臺上時，應將空吊艙從裝載埠移除，因為帶有第二個十字線的第二個吊艙將提前轉移到工具上。然而，這個場景引入了一個不可預見的RFID寫入問題。由於pod資訊和分劃板資訊在RTD系統上都被連接在一起進行調度處理，囙此所有資訊都應準確無誤。囙此，包含吊艙上十字線ID資訊的RFID在離開工具之前需要清除。但是，十字線檢查工具不支持更換吊艙上的RFID。
囙此，為EAP系統開發了一個稱為RFID寫入的功能，以改變pod上的RFID。有了這個功能，當從工具上取下時，原始吊艙將被釋放（清除RFID資訊，如圖7中的吊艙A），而當吊艙攜帶新的標線時，新吊艙將與標線組合（將標線ID寫入RFID，如圖7中的吊艙B）。囙此，吊艙基本上就像一輛計程車，攜帶不同的十字線，將它們轉移到倉庫和檢查工具之間。通過這種滑行模式，pod的利用率得到了很大提高，在FA期間圖書館的使用情况沒有遇到任何影響RTD系統的問題。