At USCXM, about 26% of all reticle

At USCXM, about 26% of all reticle inspections are Incoming Qualification Control (IQC) inspections before moving the reticles into the production line. Originally, all these reticles needed to be dispatched to the inspection tool for manual recipe setup before reticle inspection could be started. Engineers had to change the Factory Automation (FA) mode from “online remote” to “local”, which would break the FA process. For typical reticles, operators would spend about 15 minutes for online recipe creation while for some special reticles like multi-layer reticles, less-experienced operators would need much more time for creating a suitable recipe, thereby adding to the cycle-time and cost of operation. To overcome these inefficiencies, a new offline setup feature called Systematic Auto Recipe Creation (SARC) was developed on KLA X5.3™ reticle inspection tools for seamless use with FA mode. Subsequently, the Reticle Management System (RMS) in USCXM was upgraded to contain all the necessary information for recipe creation. As shown in the flow in Figure 4, reticle information such as barcode, layer number, die size, die pitch, alignment mark coordinates, etc. are automatically stored in the RMS system. The system allows users to fill-in specified templates and settings. Once users input the required information for a recipe, the system creates three CSV files and sends them to the X5.3 inspection tool, and also informs Equipment Automation Programming (EAP) to send standard SECS command for recipe creation. Once the X5.3 tool receives the creation command, it generates the recipe based on the three CSV files and sends feedback about the recipe creation result to EAP and RMS system.

結果 (繁體中文) 2:

在 USCXM，在將視網膜移入生產線之前，大約 26% 的視網膜檢查是進料資格控制 （IQC） 檢查。最初，所有這些神經質需要發送到檢查工具進行手動配方設置，然後才能開始進行回觸檢查。工程師不得不將工廠自動化 （FA） 模式從"線上遠端"更改為"本地"，這將破壞 FA 流程。對於典型的視網膜，運營商將花費大約 15 分鐘進行線上配方創建，而對於一些特殊的資訊，如多層回觸，經驗不足的操作員將需要更多時間來創建合適的配方，從而增加了週期時間和運營成本。為了克服這些低效現象，在 KLA X5.3™ 視網膜偵查工具上開發了一個新的離線設置功能，稱為系統自動配方創建 （SARC），以便與 FA 模式無縫使用。隨後，USCXM 中的 Reticle 管理系統 （RMS） 進行了升級，以包含創建配方所需的所有資訊。如圖 4 中的流所示，諸如條碼、層數、模具大小、模間距、對齊標記座標等資訊會自動存儲在 RMS 系統中。系統允許使用者填寫指定的範本和設置。使用者輸入配方所需的資訊後，系統將創建三個 CSV 檔並將其發送到 X5.3 檢查工具，並通知設備自動化程式設計 （EAP） 發送標準 SECS 命令以創建配方。一旦 X5.3 工具收到創建命令，它就會基於三個 CSV 檔生成配方，並將有關配方創建結果的回饋發送到 EAP 和 RMS 系統。

結果 (繁體中文) 3:

在USCXM，大約26%的分劃板檢查是在將分劃板移入生產線之前進行的進貨鑒定控制（IQC）檢查。最初，在開始十字線檢查之前，需要將所有這些十字線發送到檢查工具進行手動配方設定。工程師們不得不將工廠自動化（FA）模式從“線上遠程”改為“本地”，這將破壞FA過程。對於典型的十字線，操作員將花費大約15分鐘進行線上配方創建，而對於一些特殊的十字線，如多層十字線，經驗不足的操作員將需要更多的時間來創建合適的配方，從而新增週期時間和操作成本。為了克服這些效率低下的問題，在KLA X5.3？十字線檢測工具上開發了一種新的離線設定功能，稱為系統自動配方創建（SARC），可與FA模式無縫配合使用。隨後，USCXM中的十字線管理系統（RMS）進行了陞級，以包含創建配方所需的所有資訊。如圖4流程所示，條碼、層號、模具尺寸、模具間距、對準標記座標等十字線資訊自動存儲在RMS系統中。系統允許用戶填寫指定的範本和設定。用戶輸入配方所需資訊後，系統將創建三個CSV檔案並將其發送到X5.3檢驗工具，同時通知設備自動化程式設計（EAP）發送標準SECS命令以創建配方。一旦X5.3工具收到創建命令，它就會基於三個CSV檔案生成配方，並將配方創建結果的迴響發送給EAP和RMS系統。