1) Check interlocks on the chamber.

1) Check interlocks on the chamber.
2) Chamber doors (Load lock & load exit) should be in closed position.
3) Vent valve and fore line valve should be in closed position.
4) Set the magnetron power, current & voltage before fire the target.
5) Transport to be in auto mode.
I don’t know about this machine function.

結果 (中文) 1:

1） 检查联锁在分庭。2） 室门 (负载锁 & 装载出口) 应在关闭位置。3) 发泄阀和脱颖而出管路阀门应在关闭位置。4） 设置磁控管功率、 电流及电压前火目标。5） 要在自动模式下的运输。我不知道这台机器的功能。

結果 (中文) 2:

1）检查联锁上腔室中。
2）室门（负载锁＆负载出口）应在闭合位置。
3）放空阀和前行阀应处于关闭位置。
4）设置磁控管功率，电流和电压前射击目标。
5）运输是在自动模式。
我不知道这个机功能。

結果 (中文) 3:

1）检查联锁装置在室。2）室门（加载锁和负载出口）应处于关闭位置。3）通风阀和前管路阀门应处于关闭位置。4）设置磁控电源，在目标前的电流和电压。5）在自动模式下的传输。我不知道这台机器的功能。