Meanwhile, considering the key fact

Meanwhile, considering the key factors that contribute to wasted inspection time, we can summarize the weighting factor based on the average result per reticle into Figure 2. Online setup is the major contributor, followed by reticle load/unload time. Next, the tool remains idle when waiting for the operator to schedule and dispatch the reticle followed by manual review of the inspection result. All these steps lead to lower daily throughput and increased cost of more tools to meet production requirements.

結果 (繁體中文) 1:

同時，考慮造成浪費檢查時間的關鍵因素，我們可以總結出基於每分劃板的平均結果為圖的加權係數2.在線設定是主要因素，其次是光罩裝載/卸載時間。接下來，工具等運營商計劃時，並派遣光罩，隨後檢查結果的人工審核處於閒置狀態。所有這些步驟會導致較低的日吞吐量和更多的工具來滿足生產需要增加的成本。

結果 (繁體中文) 2:

同時，考慮到導致檢測時間浪費的關鍵因素，我們可以根據每個檢測的平均結果將加權因素總結到圖2中。線上設置是主要因素，其次是 reticle 載入/卸載時間。接下來，在等待操作員計畫並調度資訊單時，工具保持空閒狀態，然後手動檢查檢查結果。所有這些步驟都會導致較低的日輸送量和增加更多工具的成本以滿足生產要求。

結果 (繁體中文) 3:

同時，考慮到導致浪費檢查時間的關鍵因素，我們可以將基於每個分劃板平均結果的權重因數總結為圖2。線上設定是主要貢獻者，其次是十字線加載/卸載時間。接下來，當等待操作員調度和發送十字線，然後手動檢查結果時，工具保持空閒。所有這些步驟都會降低日輸送量，並新增滿足生產需求的更多工具的成本。