同意以附件文件為驗收條件。但需增加以下5點：1. 以每chamber

同意以附件文件為驗收條件。但需增加以下5點：1. 以每chamber 劃分9等份，置入Carrier後同一水平量測9個點並提供溫度數值及曲線。2. 以每Carrier 為基準點，往上每增加1cm 重複 (1) 步驟一次，共6次3. 以每Carrier 為基準點，往下每減少1cm 重複 (1) 步驟一次，共4次4. 提供真空數值能力，提供前後數值對照。（msi 提供8片 PCBA）5. 操作界面中文化

結果 (繁體中文) 1:

同意以附件文件為驗收條件。
但需增加以下5點：
1.以每室劃分9等份，置入載體後同一水平量測9個點並提供溫度數值及曲線
2.以每載波為基準點，往上每增加1厘米重複（1）步驟一次，共6次
3。以每載波為基準點，往下每減少1厘米重複（1）步驟一次，共4次
4。提供真空數值能力，提供前後數值對照。（MSI提供8片PCBA）
5.操作界面中文化

結果 (繁體中文) 2:

[]]
*5* ：
1. [房間]
2. [承運人]，[1cm][1][，6]
3. [承運人]
4. []，[]（msi [8PCBA）
5. [

結果 (繁體中文) 3:

同意以附件檔案為驗收條件。
但需新增以下5點：
一。腔室、載體、一號水利樞紐
2。以每載波為基準點，往上每新增1cm重複（1）步驟一次，6次
三。以每載波為基準點，往下每减少1cm重複（1）步驟一次，4次
四。供真空數值，供前後數值對照。（msi供8片PCBA）
5個。操作介面中文化