⑤使用的波长印刷(紫外线):365纳米(直线),405纳米(直线),和436牛米(g线)手动校准:e线(546纳米)和橙色灯自动对准:633纳米(氦-氖气体激光器)7)照明器①光源2 kW超高压水银灯,型号USHY-2002MA,由乌岛电气有限公司制造②Illuminadon范围弓形,最大长度为150纳米,宽度为1.6至2.0毫米。半径为95毫米③光照均匀性在+3%以内④有效光源a ■ 0.7,o *= 0.6,o = 0.5⑤光线质量取决于g线(436纳米)、h线(405nm)和使用的I线(365 nm)。8]暴露①曝光设置这是通过设置05英寸(0125mm)晶圆,使用曝光时间设置开关。②设定范围5.0至150.0秒。(对于5英寸晶圆)③设置单位曝光时间设定为统一的0.1秒。增量。
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